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可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。
对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。
唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。
负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。
终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。
她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”
说完，她也不等两人回答，转身离开。
于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道：
“那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。”
“没问题。”
李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。
拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。
和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。
之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。
刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。
这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。
于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。
对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。”
“可以。”
李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。
依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。
于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。
很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。
因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。
但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。
于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。
不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。
他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断：
“等等！这样就很好了，你先别动。”
由于太着急，他的音量不算下，其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。
李筠转身看到的就是这样的画面，她有些疑惑地看着于亮说：“怎么了？”
“你现在这个角度刚刚好，先别动，我这里还要再记录一点东西。”
众人一起停手的动静不算小，赵蔓也很快注意到两人这边的异样，看着其他人停下手里的事情，路过的时候小声提醒道：
“你们先别停，我去看看情况。”
众人这才歇了看热闹的心思，继续将眼神放到自己眼前，但也有些好事的，还是阻挡不了自己的好奇心，频频侧头观察李筠那边的动静。
赵蔓到达时，看到的就是一人站在观察位不动，一人飞速记录的场面。
她的目光随即转移到李筠身上，疑惑地问：“你们这边是出了什么问题吗？”
李筠摇摇头，眼神看向一旁的于亮。
于亮没有回答两人的问题，继续在记录册上写写画画，好一会儿才停下自己的手，因为长时间高强度的使用，还情不自禁地甩甩自己的手腕。
而后勾起嘴角，眼神当中几乎是藏不住的喜色，看着一旁的赵蔓激动地说：
“我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数，赵师姐，你看。”
说着，就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。
第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技，把物镜的角度画得乱七八糟，她根本看不明白，果断移开视线，看向上面记录的数据。
当她看到成像比例的时候，眼睛瞬间睁大，眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。
忍不住夸赞出声道：“你们俩非常了不起，这个发现我要赶紧告诉教授，你们俩这边暂时别动，等会儿教授也要过来看。”
说罢，带着手里得到记录册通通离开。
其他耳朵尖的，也明白是两人这边有了新发现，赶紧放下自己手里的东西围过来看，叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。
等到赵蔓带着赵本民教授来的时候，看到的就是这样一副闹哄哄的场面。
她赶紧加大的音量喊道：“都让让！都让让！教授来了。”
话音刚落，人群若鸟兽散，迅速给赵蔓和赵教授让出一条路，此时的李筠也早已经离开了观察位，与于亮站在一起。
赵本民看着眼前的机器，侧头问了赵蔓一句，眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。
可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。
对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。
唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。
负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。
终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。
她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”
说完，她也不等两人回答，转身离开。
于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道：
“那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。”
“没问题。”
李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。
拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。
和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。
之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。
刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。
这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。
于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。
对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。”
“可以。”
李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。
依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。
于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。
很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。
因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。
但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。
于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。
不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。
他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断：
“等等！这样就很好了，你先别动。”
由于太着急，他的音量不算下，其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。
李筠转身看到的就是这样的画面，她有些疑惑地看着于亮说：“怎么了？”
“你现在这个角度刚刚好，先别动，我这里还要再记录一点东西。”
众人一起停手的动静不算小，赵蔓也很快注意到两人这边的异样，看着其他人停下手里的事情，路过的时候小声提醒道：
“你们先别停，我去看看情况。”
众人这才歇了看热闹的心思，继续将眼神放到自己眼前，但也有些好事的，还是阻挡不了自己的好奇心，频频侧头观察李筠那边的动静。
赵蔓到达时，看到的就是一人站在观察位不动，一人飞速记录的场面。
她的目光随即转移到李筠身上，疑惑地问：“你们这边是出了什么问题吗？”
李筠摇摇头，眼神看向一旁的于亮。
于亮没有回答两人的问题，继续在记录册上写写画画，好一会儿才停下自己的手，因为长时间高强度的使用，还情不自禁地甩甩自己的手腕。
而后勾起嘴角，眼神当中几乎是藏不住的喜色，看着一旁的赵蔓激动地说：
“我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数，赵师姐，你看。”
说着，就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。
第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技，把物镜的角度画得乱七八糟，她根本看不明白，果断移开视线，看向上面记录的数据。
当她看到成像比例的时候，眼睛瞬间睁大，眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。
忍不住夸赞出声道：“你们俩非常了不起，这个发现我要赶紧告诉教授，你们俩这边暂时别动，等会儿教授也要过来看。”
说罢，带着手里得到记录册通通离开。
其他耳朵尖的，也明白是两人这边有了新发现，赶紧放下自己手里的东西围过来看，叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。
等到赵蔓带着赵本民教授来的时候，看到的就是这样一副闹哄哄的场面。
她赶紧加大的音量喊道：“都让让！都让让！教授来了。”
话音刚落，人群若鸟兽散，迅速给赵蔓和赵教授让出一条路，此时的李筠也早已经离开了观察位，与于亮站在一起。
赵本民看着眼前的机器，侧头问了赵蔓一句，眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。